X熒光光譜儀在常規(guī)的使用過程中，需要注重保養(yǎng)維護(hù)，在X熒光光譜儀中，有一個(gè)重要的零部件，就是半導(dǎo)體探測(cè)器，需要在一定條件下保存、使用和維護(hù)。
 

　　1.正確連接設(shè)備的各個(gè)部分，尤其對(duì)偏壓的極性應(yīng)十分注意。
 

　　2.探測(cè)器低能輻射的半導(dǎo)體探測(cè)器的真空室都有一個(gè)厚度為μm量級(jí)的鈹片制成的入射窗，作為射級(jí)的通道，它極易破碎，因此不宜直接對(duì)鈹窗吹氣，也不能用刷清洗。
 

　　3.對(duì)用液氮冷卻的半導(dǎo)體探測(cè)器，必須及時(shí)補(bǔ)充液氮。因?yàn)楫?dāng)溫度升高時(shí)，原來在漂移過程中形成的中性離子就會(huì)離解，這稱為“反漂移”，會(huì)導(dǎo)致半導(dǎo)體探測(cè)器性能下降，甚至損壞。
 

　　4.偏壓(100~1000V)是經(jīng)過探測(cè)器直接接到前置放大器*級(jí)場(chǎng)效應(yīng)管的柵極上。由于半導(dǎo)體反接，偏壓幾乎全部降在探測(cè)器上，而柵極上電壓降很小，當(dāng)偏壓突然上升或下降時(shí)，在高壓電脈沖的沖擊下，場(chǎng)效應(yīng)管易損壞。因此半導(dǎo)體探測(cè)器的偏壓必須用連續(xù)可調(diào)的高壓電源，緩慢增減。每次開始工作時(shí)，由零緩慢、均勻地調(diào)至工作電壓，每一步不少于1min。
 

　　5.防潮。潮濕會(huì)導(dǎo)致絕緣子及高壓回路漏電。鈹窗及真空室積水會(huì)損壞鈹窗，造成漏氣。除經(jīng)常擦拭之外，好的方法是用一個(gè)大的塑料袋把探測(cè)器和低溫容器的出口一起罩上。由出口不斷蒸發(fā)出來的低溫干燥氮?dú)庵饾u趕去罩內(nèi)的空氣和水分，并保持很小的壓力，保持罩內(nèi)小范圍干燥。
 

　　科學(xué)做好維護(hù)保養(yǎng)工作，是讓X熒光光譜儀使用更久的保障。